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NCシリコンウエーハ端面研削盤WX-7421







機(jī)床用途與性能特征：
1、本機(jī)床用于太陽(yáng)能行業(yè)單晶、多晶硅材料長(zhǎng)方體的平面磨削加工，表面鏡面拋光循環(huán)磨削功能，對(duì)原來(lái)硅錠的平面垂直度起到修整功能，確保硅錠四面及棱邊的損傷層有效的去除。
2、控制系統(tǒng)采用日本三菱系統(tǒng)。
3、采用機(jī)械方式自動(dòng)對(duì)中心磨削、自動(dòng)壓緊，定位準(zhǔn)確，固定可靠;磨削表面光潔度高。
4、砂輪進(jìn)給采用三菱伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠，具有很高定位精度，以保證獲得兩平面間的尺寸誤差。
5、機(jī)床所有電氣元器件均采用三菱、施耐德等國(guó)際國(guó)內(nèi)知名品牌產(chǎn)品，保證機(jī)床控制系統(tǒng)穩(wěn)定可靠。

磨削后工件的公差及表面粗糙度
兩平面平行度 　0.01mm
垂直度 　0.02mm
尺寸誤差 　0.02mm
粗糙度 　Ra0.2m
 
工件規(guī)格
125×125/156×156mm
工件長(zhǎng)度
max500mm
砂輪主軸數(shù)
2個(gè)
砂輪尺寸
Ф200×Ф70×Ф190mm
切削（研磨）速度
0.01--15m/min
端面砂輪最小進(jìn)給量
1um
砂輪線速度
35m/s
總功率
3kw
機(jī)床外形尺寸（長(zhǎng)X寬X高）
2000X1950X1350mm
機(jī)床重量
3000kg
冷卻水接口
R1/4〞，25L/min





 








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